基板輸送機
申請號/專利號: 200780045654
本發明涉及一種基板輸送機,具備:移動工作臺(32),其在水平方向可移動地配置在基座(14)上,且在一側交接基板(G)時位于一側;支承裝置(S),其配置在移動工作臺(32)上,且具有用于在水平方向可移動地支承基板(G)的支承區域;移動裝置(T),其用于在一側交接基板(G),并橫穿一側的支承區域的前端而使支承區域上的基板(G)在水平方向上移動;立設在基座(14)上的支柱(16);手部(H),其在相反側交接基板(G),且在與支承裝置(S)之間交接輸送過程的基板(G),在水平方向可移動并從上下方向看橫穿支承區域且可升降地安裝于支柱(16)上,支承區域在一側具有從移動工作臺(32)露出的延出部。
| 申請日: |
2007年12月20日 |
| 公開日: |
2009年10月14日 |
| 授權公告日: |
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| 申請人/專利權人: |
株式會社IHI |
| 申請人地址: |
日本東京都 |
| 發明設計人: |
平田賢輔 |
| 專利代理機構: |
北京市柳沈律師事務所 |
| 代理人: |
陶鳳波 |
| 專利類型: |
發明專利 |
| 分類號: |
B65G49/06;B65G49/00;G02F1/13;H01L21/677 |